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   将选定结果: 

 铟磷共掺杂p型氧化锌薄膜形成机理和性质

陈足红 姚斌 郑昌佶 杨通 赵婷婷 单崇新 张振中 李炳辉 张吉英 申德振

[摘要]利用射频磁控溅射在石英衬底上生长出铟磷共掺氧化锌薄膜(ZnO∶In,P),所用靶材为掺杂五氧化二磷(P2O5)和氧化铟(In2O3)的氧化锌(ZnO)陶瓷靶,掺杂质量分数分别为1.5%和0.3%,溅射气体为Ar和O2的混合气体。原生ZnO薄膜是...

 PDF全文发光学报 | 2009, 30(01):12-18

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